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新闻中强调国产**分辨光刻机能做到与其它国家生产的光刻机所使用的光刻路径不同，说明国内项目组突破了生产光刻机所需要的高均匀性照明、**分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和**精密、多自由度工件台及控制等关键技术，广东合川机械，还有结合**分辨光刻装备项目开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺。

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曝光灯的光谱从近紫外线到远紫外线成连续光谱，主波峰在313nm--480nm之间，具有良好的瞬间点灭性能，合川机械公司，适合用于连续点灯、灭灯的曝光设备上，特别是在水中直接冷却降低热放she，适合于容易热化的制品UV曝光。其工作时间一般能在800小时左右（在额定电压下）。